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[供应] 矽晶片清洗腐蚀机
有 效 期:永久
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详细说明:
矽晶片清洗腐蚀机
型号:CGB-XXXX—XX系列,**:华林嘉业—CGB产品可去除工件表面的油污及其他有机物、除胶、去金属离子等。 1.设备由五大部分组成:清洗槽部分、伺服系统及机械臂部分、层流净化系统、电气控制系统、机架及整机。 2.清洗槽部分由有机溶剂槽、去离子水槽、酸槽或碱槽等组成。 3.关键件采用进口件,包括气动阀,PFA管道,全氟循环系统,保证工作介质(酸、碱)的洁净度,避免杂质析出。 4.工艺过程全自动,机械手在槽间的转换由两套伺服系统控制,可存储多条工艺时序,方便使用。
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